真空泵的故障检查

　　故障检查问题1泵不旋转
　　
　　原因：①电机接线错误②带电磁开关等安全回路安装错误③油的粘度变高④异物进入泵内，转子等发生咬死⑤排放反应性气体后、泵停止期间反应生成物在泵内积存
　　
　　处理方法：①检查接线②安全回路符合电机要求③换油④检修（更换缸体、转子、盖板）⑤检修（清洗泵的内部，除去反应生成物）
　　
　　故障检查问题2压力不下降
　　
　　原因：①相对于真空容器的容量、泵的排气容量小②压力的测量方法错误③真空计不合适④吸气口的连接管径细小或管道过长⑤吸气口的金属网堵塞⑥油量不到规定值⑦油变质⑧连接泵的管道漏气⑨没有使用本公司的纯正油⑩油不循环a盖等零件的油路堵塞b油分配阀故障⑾泵内混入水
　　
　　处理方法：①重新选泵②正确测量压力③使用与测量压力范围相符且校准正确的真空计④采用大于吸气口径的管道、缩短与真空容器的距离⑤拆下吸气口上部的管道，清洗金属网⑥加油到规定量⑦换油⑧用氦检漏仪等检漏机器找出漏孔并堵漏⑨泵维修后换上本公司的纯正油⑩维修a清洁油路b检查维修油分配阀⑾检查漏水的地方（泵内的冷却水管、接头等的检查、更换）
　　
　　故障检查问题3有异常音
　　
　　原因：①电机反方向旋转②节流阀堵塞③起动和停止时有“卡嗒卡嗒”声④油不循环a盖等零件的油路堵塞b油分配阀故障⑤冷却水不流动（没有流入规定量的冷却水）
　　
　　处理方法：①重新接线使转方正确②拆下侧面铭牌，洗净、调整节流阀③泵内叶片暂时不规则运动而产生的现象，没有特别的问题④维修a清扫油穴b检查维修油分配阀⑤通入规定的冷却水流（还不能消异常音的情况，需进行检、修理）
　　
　　故障检查问题4泵表面温度异常高室温+60℃以上
　　
　　原因：①冷却水不流动（没有流入规定量的冷却水）②高吸气压下连续运转③油量不到规定值（油量少，泵的冷却效果降低）④吸入气体温度高⑤油不循环a盖板等油路堵塞b油分配阀故障
　　
　　处理方法：①提供规定量的冷却水流②在高吸气压下连续运转，泵的表面温度将达一到100℃、没有特别的问题③油加至规定量④吸气端安装气体冷却机⑤维修a疏通油路b检查维修油分配阀
　　
　　故障检查问题5从排气口喷出很多油
　　
　　原因：①油超过规定量②在高吸气压下连续运转
　　
　　处理方法：①油减少到规定量②排气端安装油雾过滤器
　　
　　故障检查问题6泵外部漏油
　　
　　原因：①外壳、盖的O形圈、油封老化②泵长期工作在高压力状态下
　　
　　处理方法：①检查更换O形圈、油封②请选用耐热密封件
　　
　　故障检查问题7泵外部漏水
　　
　　原因：①盖的O形圈、密封垫老化②冷却水接头未紧固③螺塞的密封不好
　　
　　处理方法：①检查更换O形圈、密封垫②检查并紧固接头③检查修理螺塞
　　
　　故障检查问题8电机的电流值异常
　　
　　原因：①泵内进入异物转子的负荷增加②转子、叶片的异常滑动
　　
　　处理方法：①修理，将泵内的异物去除②拆检、修理泵