日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性
• 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、应用
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备
• TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、规格参数
| 单位 | 50Hz | 60Hz | |
实际抽速 | L/min | 500 | 600 | |
极限压力 | Pa | 1.0 | ||
马达 | 单相 |
| 100/115/200/230V, 600W, 4P, 电容启动运行 | |
| 三相 |
| 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | |
满载电流 | 单相 | A | 8.5/4.3/3.9 | 2.7/1.57/1.57/1.63 |
| 三相 |
| 10.0/8.6/4.8/4.0 | 2.8/2.5/2.5/1.47 |
重量 | 单相 | kg | 44.0 | |
| 三相 |
| 38.0 | |
进出气管道直径 |
| 进气管KF-40 出气管 KF-25 | ||
环境温度 | °C | 5 – 40 | ||
水蒸气处理 | g/天 | ≤25 (A.F. 开启) | ||
尺寸 | 单相 | mm | 290(W) × 443(L) × 397(H) | |
| 三相 |
| 290(W) × 372(L) × 397(H) | |
四、外形图
五、泵数曲线
六、对应电压与认证
电压 | 现行电压 | CE 认证 | CSA 认证 |
单相, 100V, 200V, 230V | 标准 | ● | ● |
三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) | 标准 | ● | ● |
