日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵一、特性
• 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵二、应用
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备
• TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺
三、规格参数
| 单位 | 50Hz | 60Hz | |
实际抽速 | L/min | 250 | 300 | |
极限压力 | Pa | 1.6 | ||
马达 | 单相 |
| 100/115/200/230V, 400W, 4P, 电容启动运行 | |
| 三相 |
| 200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P | |
满载电流 | 单相 | A | 4.8/2.6/2.4 | 4.8/4.3/2.8/2.4 |
| 三相 |
| 1.6/0.9/0.9/1.0 | 1.9/1.9/1.8/1.0 |
重量 | 单相 | kg | 25.0 | |
| 三相 |
| 23.0 | |
进出气管道直径 |
| 进气管KF-25 出气管 KF-16 | ||
