测量显微镜 WMM-800™
非接触式XYZ三维深度测量显微镜
对精密元件进行精密二维和三维测量的高级显微镜
特殊设计，可精确和重复测量厚度和深度
三个轴向上测量表面轮廓、平面度、粗糙度和对中
Z轴方向的测量采用精密图像聚焦机构
可选3种倍率物镜：5X，20X，50X
使用Nikon数据处理系统的通信端口
WMM-800测量显微镜应用范围
多种测量，例如:
- 焊框高度
- 晶片高度
- 焊料高度
- 焊框的应变
- 导线连接部分的高度
- 混合IC的步进幅度
- 多层PC板的终端步进幅度
- 圆柱容器上的沟槽
- 金属模具的深度
WMM-800测量显微镜技术参数
| 主体 | 带反射镜的聚焦装置 |
| 显微镜支架 | 通过齿条机构进行粗调（范围65mm），通过十字滚轮机构进行半精调和精调 |
| zui大试样高度 | 0 - 77.5mm |
| 目镜 | 双目目镜（正立图像），瞳距53-73mm（45度） WF-10X，视场 18 WF-10X带十字刻线，视场19 |
| 精密调焦指示表 | 黑色刻线，白色刻线，无刻线，钨灯照明系统（6V-15W），内置变压器 |
| 物镜转塔 | 5位 |
| 物镜 | M Plan 10X，NA 0.25，WD 10.6mm |
| 测量工作台: O3L横向移动 前后移动 读数器 样品zui大许可重量 工作台重量 玻璃台尺寸 工作台尺寸 | 100mm 50mm 光电编码器 5.0 kg 19.0 kg Crosswise 285mm x fore-and-aft 192mm 413mm x 313mm x 90mm （包括把手） |
| Z轴指示表: | ID-F 125，分辨率1µm （25mm），交流转换器 |
| 主体尺寸 | 280（宽）x 348（长）x475.5（高）mm |
| 主体重量 | 37 kg |
| O3L工作台重量 | 19 kg |
标准配置
主体
配有变压器的支架
五位物镜转塔
双目目镜
100 x 50mm工作台
配光栅尺和玻璃工作台
2轴计数器（Nikon）
Z轴指示表25mm
目镜WF10x（视场 18）
刻线目镜 WF10X
物镜 M Plan 10x, NA
0.25, WD 10.60
可选附件
物镜 Mplan 5X, NA
0.10, WD 19.60
物镜 Mplan 20X, NA
0.40, WD 12.00
物镜 Mplan 50X, NA
0.50, WD 10.60
透射照明装置
