当油回转真空泵在大气压下启动或粗真空下运转时，真空泵油会与被抽进去的气体一起排出。这种废气由许多微小的油滴组成，以烟雾的形式从泵的排气口排出。TM系列油雾过滤器可以确保一个清洁的环境，保护室内设备免受油雾污染。

● 小型、大排气量。 ● 气体接触部位部使用油的干式真空泵。 ● 内置过热保护的设计，更安全。 ● 简单的构造，使维护更简单方便。

● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。 用途：冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

YM系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。