⒈ ULVAC机工生产的系列干式膜片型真空泵，是通过橡胶膜片的往返运动达到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于油旋片式真空泵，无需油雾过滤，能保持环境清洁，保养方便。
日本ULVAC DA-20D/60D/DA-40S/DA-120S/121D/241S膜片型干式真空泵 ⒈ ULVAC机工生产的系列干式膜片型真空泵，是通过橡胶膜片的往返运动达到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于油旋片式真空泵，无需油雾过滤，能保持环境清洁，保养方便。
日本ULVAC DA-30D/60S/DAT-50D/100S/DAU-100H膜片型干式真空泵 ULVAC机工生产的系列干式膜片型真空泵，是通过橡胶膜片的往返运动达到真空。 膜片型干式真空泵不同于G系列直联型油旋片式真空泵，无需油雾过滤，能保持环境清洁， 保养方便。
日本ULVAC DTC-21K/41K/DTC-60/DTC-120膜片型干式特氟龙真空泵 ◇各个接触排气气体的部件都有PTEE制成 ◇适用于腐蚀性气体或有机溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa
